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QBT-MP品牌
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超高真空多腔體磁控濺射系統
技術參數:
基板:可加熱至RT-900oC,可旋轉,基板與靶材距離連續可調,晶圓和靶空間可以連續變化
極限真空:<3E-9Torr
基板傳輸:高度可靠和可重復的基板傳輸能力
廈門韞茂科技有限公司憑借在先進材料設備業務方面多年的經驗,韞茂為新型芯片,半導體和鋰電池領域的新材料開發和生產,提供最先進的納米工藝設備和服務解決方案。根據您的特殊需求,我們為您定制打造創新納米加工平臺,保證高品質的設計,多功能,易于使用的界面,嚴格的安全控制,以及快速的交付和服務。