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英國Hiden公司的ExQ定量氣體分析質譜儀是為在常壓附近連續分析氣體/蒸氣而設計。多樣化的進樣口配件可進行從低壓1mbar到高壓30bar的取樣分析。Hiden標準配置的QIC惰性石英進樣毛細管可加熱至200℃，取樣壓力范圍 100mbar至2bar。進樣毛細管長度2米韌性良好，對于一般的氣體/蒸氣（包括水、有機蒸氣）響應速度少于300 ms。由于樣品接觸面僅限于石英和金屬鉑，保持了**的樣品完整性。EXQ系統質量數范圍是200amu(300amu可選)，并具有從100%到小于100ppb的檢測能力。EXQ配有兩款專業的質譜儀。

*操作軟件

1.QGA專業版定量氣體分析軟件提供了多達32種氣體定量分析的簡化用戶界面。氣體/蒸氣譜分析計算并自動扣除重疊譜，譜圖模擬器動態快速顯示用戶控制的變化，主要、次要氣體組成的校準和本底校正。

2.MASsoft7專業版操作軟件：是一個全面的質譜操作控制和數據采集的**化程序。

*標準特征

1.定量數據輸出：ppm，ppb；

2.氣體濃度變化時響應時間<300毫秒；

3.快速掃描500amu/秒的瞬態分析；

4.自動扣除重疊峰；

5.具有軟離子化技術；

6.提供兩組外部參數顯示信號；

7.離子源壽命長、防污染；

8.可選配與 TGA、GPC、IR 的接口；

9.氣體/蒸氣質譜數據庫具有對碎片峰智能掃描并精確記錄的功能；

*MASsoft 操作軟件

1.可以實時記錄、顯示實驗過程和實驗參數；

2.定量數據分析：1)自動將測量濃度與參考氣體進行對比、評估 2)所有數據總和與100%水平對比。計算包括相對靈敏度和氣體的校正參數。3)矩陣倒置算法：質譜數據反褶積進行精確地濃度分析；

3.具有動態數據交換能力DDE，將數據輸出到其他格式，如EXCEL；

4.軟離子化技術：改變離子化電壓，選擇性分辨復雜氣體和蒸氣中成份；

5.離子源控制：1)電子能量掃描：0～150ev 2)離子源離子能量掃描：0～10ev 3)發射電流掃描：20μA～2mA；

6.與計算機連接方式：RS232，或 Ethernet LAN(以太網接口)USB；

*技術規格

1.質量數范圍： 1～200amu(標準配置); 1-300amu 可選氣體取樣管： a）2米長，內置石英玻璃毛細管，外部為不銹鋼套，柔韌，彎曲方便 b）加熱溫度至 200℃ c）300毫秒內對于氣體濃度的變化做出反映取樣流量(氣體消耗量)：1～20sccm，可調節取樣壓力：100mbar～2bar *小檢測分壓：

1×10^－11mbar 法拉第杯檢測器 5×10－14mbar 電子倍增器

2.檢測極限：0.1～1ppm 快速掃描速度：100amu/s *小掃描步階：0.01amu 測量通道：200個，MID模式系統重量：63Kg

3.電源要求：110/220/240，50/60Hz <1.0 KVA