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日本ULVAC公司經多年的技術經驗的積累，研制開發HPS-N系列電子束蒸發電源.和電子槍控制器單元，

整體電路運行穩定而安全.抗干擾能力強.可同時對應光學膜及金屬膜.

BEB Power Generator(電子槍電源)

1不需用冷卻水冷卻.

采用強制空冷方式，不需要冷卻水.

2高可靠性

通過安裝的整機設備后實際使用效果反饋總結.

3高速異常放電遮斷重啟功能.

采用半導體控制開關.針對異常放電，具有快速遮斷，重啟，.

起到保護電源的功能.可并保證蒸發工藝維持穩定而高速.

用途:

金屬膜，LED電極，配線膜等真空蒸鍍.

光學膜TiO2，ZrO2，Ta2O5，防反射膜，絕緣膜，功能膜SiOx，阻隔膜SiN，柵介質AL2O3，

透明導電ITO，ZnO膜的真空蒸鍍..

參數:

型號HPS-600NHPS-1000N

相數，頻率三相 50/60Hz〃

輸輸入電壓AC200～220V〃

入變動范圍AC190～231V〃

規輸入一源9.0kVA以下14.0kVA以下

格容量兩源10.0kVA以下15.0kVA以下

漏溢電流各相5mA以內〃

額定輸一源6kW10kW

出電力兩源6kW(兩源合計)10kW(兩源合計)

輸高壓可調范圍-2kV～-6kV-4kV～-10kV

出輸出穩定率±1%以內〃

規電壓脈動率±2%p-p以內(在各個額定輸出)

格Beam可調范圍0～1000mA0～1000mA

電流變動率±2%以內(在各個額定輸出)

燈絲用電壓0～6V/12VAC〃

輸出電流0A～45Amax〃

高壓動作方式半導體元件開關方式

閃斷高壓閃斷時間1ms以內(機械性斷路約1秒斷高壓)

保護休止時間10ms以內〃

高壓啟動時間1ms以內(額定20%至80%)

冷卻方式強制風冷.〃

外形尺寸494mmW x 701mmD x 712mmH

上記尺寸不含按鍵，接口等突起部份

重量115kg120kg