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日本ULVAC公司目前生產(chǎn)的射頻RF電源RFS-N系列，
包括RFS-1305N輸出500W，RFS-1310N輸出1KW兩種.
頻率為13.56MHz.配備高效RF放大器，小型化輕量化.
內(nèi)藏有自動(dòng)匹配控制，通過分體式操作面板，
既可控制功率輸出及匹配.自動(dòng)計(jì)算異常反射CUT時(shí)間，快速遮斷電弧重啟.
特長:
1.采用頻率13.56MHz高效放大器.通過高效功率變換電路節(jié)省能源.
2.通過高速匹配步進(jìn)電機(jī)控制變速.
3.RF電源內(nèi)藏自動(dòng)匹配控制，通過一個(gè)標(biāo)配控制器既可操作控制電源及匹配器.
4.高速自動(dòng)匹配，速度快.可匹配覆蓋范圍廣.
5.平穩(wěn)實(shí)現(xiàn)外部模擬控制，串行通信控制.電源本體與觸摸屏呈分體式
6.兩臺(tái)同時(shí)工作時(shí)，可三百六十度調(diào)整相位.
7.強(qiáng)制空冷.
參數(shù):
射頻電源本體
型號(hào)RFS-1305NRFS-1310N
輸入AC180V~240V單相AC180V~240V單相
輸入容量1.2kVA以下2.0kVA以下
振動(dòng)頻率13.56MHz±0.05%13.56MHz±0.05%
**進(jìn)行波輸出500W1000W
**反射波電力100W100W
線性額定輸出±2%以下額定輸出±2%以下
外形尺寸240Wx500Dx150H240Wx500Dx150H
質(zhì)量12kg以下12kg以下
匹配器
型號(hào)MBX-1305NMBX-1301N
電大允許電力500W1000W
輸出阻抗R:0.5Ω≦R≦10.0ΩR:0.5Ω≦R≦10.0Ω
冷卻方式強(qiáng)制空冷強(qiáng)制空冷
外形尺寸375Wx250Dx170D375Wx250Dx170D
質(zhì)量10kg10kg
耐電流40A40A
耐電壓2.5kV(0-peak)2.5kV(0-peak)
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