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OAI Model 212型桌面掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
。輸出光譜范圍:Hg: G(436nm)，H(405nm)，I(365nm)和310nm，Hg-Xe: 260 nm和220 nm或LED:365 nm、395 nm和405 nm
。燈功率范圍從1000到5000 w
。選擇UVLED (365 nm和405 nm)光源
。基片尺寸范圍從12“dia平方
。特殊12“x 12”和3毫米厚玻璃基板
。互換拋擲和面具
。空氣軸承真空吸盤
。接近(15-20umgap): & lt; 3.0 - 5.0，柔軟觸點(diǎn):2.0um，硬觸點(diǎn):1um和真空接點(diǎn):≤0.5um
。對(duì)齊模塊X， Y，和Z軸和θ
。雙通道光學(xué)反饋
。只提供正面接觸w / IR選項(xiàng)
。僅在桌面選項(xiàng)可用，適用于研發(fā)和獨(dú)立的工作
。占用空間小
。適用于生物學(xué)、微機(jī)電系統(tǒng)、半導(dǎo)體和Microfludics CLiPP應(yīng)用程序
Model 212 Table Top Mask Aligner System
。 Output Spectra Range: Hg: G (436nm)， H (405nm)， I(365nm) and 310nm lines， Hg-Xe: 260nm and 220nm or LED: 365nm， 395nm and 405nm
。 Lamp Power range from 1000 to 5000W
。 Option for UVLED (365nm and 405nm) Light Source
。 Substrate sizes range from 12” dia to sq
。 Special 12” x 12” and up to 3mm thick Glass Substrates
。 Interchangeable chucks and mask holders
。 Air bearing vacuum chuck
。Proximity (15-20umgap ): <3.0 – 5.0um， Soft Contact: <2.0um， Hard contact: 1um and vacuum contact : ≤ 0.5um
。 Alignment module X， Y， and Z axis and theta
。 Dual-channel optical feedback
。 Provides Front side exposure only w/ IR Option
。 Available in Table top option only and applicable for R&D and standalone work
。 Small Footprint
。 Applicable for Biology， MEMS， Semiconductor and Microfludics， CLiPP applications
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