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URE-2000S/25S 型雙面光刻機
技術參數
。曝光面積：4 英寸（或 6 英寸）
。曝光波長：365nm： 40mW/cm，405nm：20-40mW/cm2
。分辨力：1 μm
。正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像，光學**倍數 400 倍，光學+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
。底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
。對準精度：±2.5μm（雙面，片厚 0.8mm），± 0.6μm（單面）
。掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）
。樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置） ，厚度 0.1mm--2mm
。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
。照明不均勻性： 3%（ Ф100mm 范圍），5%（ Ф150 mm 范圍）
。掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞燈功率：350W（直流，進口）
。**膠厚：350 μm （SU8 膠，用戶提供檢測條件）
。光源平行性：3.5°
外形尺寸：1300mm（長）x1000mm(寬) x1800mm（高）
配置
（1）曝光頭（兩套）
。冷光橢球鏡
。350 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調節臺
。冷卻風扇
。光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉動臺
。樣片調平機構，自動完成
。樣片調焦機構，氣缸自動調
。承片臺：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸（6 英寸配置）
。掩模夾：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（6 英寸配置）
（3）雙目雙視場對準顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監視器可同時觀測）
。光源、電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD 光學系統（選配件）26
。XYZ 底面對準工件臺
（4）底面 CCD 對準系統
。光源、電源
。成像光學系統
。數據采集卡
。CCD
（5）電控系統
。汞燈觸發電源(350W 直流汞燈)
。單片機控制系統
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。計算機系統（21 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動系統
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
。電磁閥驅動
。氣動儀表
（7）其他附件
。真空泵一臺（無油泵）
。空壓機一臺 （音靜泵）
。管道
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