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E'Wave® 雙極脈衝直流電系列 |
Advanced Energy 的 E'Wave® 雙極脈衝直流電源改善了表面均勻性,減少了雙鑲嵌製程流程 (dual-damascene process flow, DDPF) 應(yīng)用的鍍銅階段之附加消耗,包括在生產(chǎn)環(huán)境和銅製程開發(fā)中的晶圓電鍍。E'Wave 電源提供多達(dá)三個通道,每個都有一個獨立驅(qū)動的雙極電源,能夠生成、儲存和運行多達(dá)15個由電流控制或由電壓控制的波形。 |
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