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Technical Data:
技術參數：
Shape: Horizontal design.
外形：水平設計
Chamber dimensions: ? = 1，7 m， Length = 3，5 m.
腔體尺寸：? = 1，7 m， Length = 3，5 m.
Vacuum better than: 1x10-5 mbar.
真空度：<1x10-5 mbar.
Temperature range: from –55oC to +120oC.
溫度范圍：–55oC to +120oC
Heating/Cooling speed at the shrouds: 1oC/min.
導熱層加熱冷卻速率： 1oC/min.
Shroud temperature uniformity: 2oC.
導熱層溫度均勻性： 2oC
Working surface: optical table.
工作臺面：光學桌子
特殊設計：
Table supported on a seismic block， isolated from chamber supports.
工作桌面區別于腔體，單獨固定在一個防震區塊上。
4 shroud zones with independent temperature control.
四個區域擁有單獨的溫度控制模塊。
TCU and vacuum pumps are in separated machinery room.
溫度控制模塊和真空泵在不同的房間
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