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主要特點：
◎ 能夠達到學(xué)術(shù)研究級的多功能噴金儀
◎ SEM托、TEM網(wǎng)、普通樣品多種專用樣品臺可選
◎ 可安裝兩個2英寸濺射源
◎ 通用的濺射靶材
◎ 本底真空<5×10-7 mbar
◎ 流量計精確控制生長氣氛
◎ 可調(diào)式DC濺射源，輸出功率可達300W
◎ 全自動，引導(dǎo)式觸屏控制
◎ 完備的安全性設(shè)計
◎ 易于維護
◎ 兼容超凈室
◎ 穩(wěn)定的性能表現(xiàn)
系統(tǒng)選件：
◎ 腔體視窗
◎ 真空泵型號可選
◎ 氣壓全自動控制系統(tǒng)
◎ 濺射源擋板
◎ 等離子體輝光電極
◎ 樣品臺旋轉(zhuǎn)與傾斜
◎ 晶振膜厚監(jiān)測系統(tǒng)
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