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概述
nEXT400D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結合使用的復合分子泵，有ISO160和CF160兩種入口法蘭接口，對N2的抽速為400l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術，上軸承為**性磁懸浮軸承，下軸承為油潤滑陶瓷軸承，并改進轉子設計，使其更加有效地實現分子拖曳行程，*終提高抽速和壓縮比，同時真正實現了用戶自行維護。它們采用24V到48V直流無傳感器電機，內置驅動，與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種**預設功率可選，前者可使用100W TIC控制器，適用于抽氬氣，但在該功率下達到滿轉速的加速時間較長。
基本的分子泵系統通常由nEXT400D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。
性能特點
**的轉子設計，可以實現**的抽速和壓縮比
維護簡便，用戶可以在短時間內完成維護，無需復雜的工具或拆卸
設計緊湊，性能**，可以實現高效系統化
與Edwards TIC渦輪儀表控制器兼容，可加3個真空規，而無需額外控制器
符合RoHS，并通過CSA/UL認可
技術指標
入口法蘭 | DN160ISO-K，DN160CF | |
出口法蘭 | KF25 | |
抽 速 | N2 | 400l/s |
He | 390l/s | |
H2 | 325l/s | |
壓 縮 比 | N2 | >1×1011 |
He | 1×108 | |
H2 | 5×105 | |
極限真空（ISO/CF，RV前級泵） | <6×10-8/<5×10-10 mbar | |
推薦前級泵* | RV12/nXDS10i | |
放氣口/吹掃口 | 1/8英寸BSP母螺紋 | |
**連續入口流量（氮氣）? | ||
水冷（水溫15°C，環境溫度40°C） | 105sccm | |
空冷（環境溫度35°C） | 90sccm | |
泵轉速 | ||
標稱轉速 | 60000rpm | |
待機轉速 | 33000~60000rpm可調 （缺省42000 rpm） | |
功率范圍 | 50~200W可調 （缺省160W） | |
90%轉速啟動時間 | 180s? | |
模擬輸出 | 泵轉速、功耗、泵溫度、控制溫度 | |
冷卻方式# | 空冷/水冷 | |
空冷環境溫度 | 5~35°C | |
*小水冷流速 （15°C的水） | 15l/ h | |
水溫范圍 | 10~20°C | |
入口法蘭**溫度 | 70°C | |
工作姿態 | 垂直、水平（±2°） | |
噪聲（1m處） | <45dB(A) | |
**耐受磁場 | 5mT | |
推薦控制器 | TIC200渦輪儀表控制器 | |
穩態功耗 | 20W | |
*根據應用可使用較小的前級泵，如使用隔膜泵要求極限真空小于 5 mbar，如XDD1。
? 如大于該入口壓力，轉速會降至標稱轉速以下。
? 功率為160 W。
#空冷和水冷卻附件須單獨訂購。
訂貨信息
貨號 | 描述 |
B83200300 | nEXT240D渦輪分子泵：ISO160 入口法蘭 |
B83200400 | nEXT240D渦輪分子泵：CF160 入口法蘭 |
B83200301 | nEXT240D渦輪分子泵：ISO160 入口法蘭，80W |
B83200401 |
|
D39722000 | TIC渦輪儀表控制器：200W、RS232 |
B58053175 | nEXT徑向風扇 |
B58053170 | nEXT徑向風扇，帶泵驅動接頭 |
B80000815 | nEXT 水冷組件 |
B80000812 | 油濾筒工具組件 |
B80000805 | 軸承和油濾筒工具組件 |
B80000811 | 油濾筒 |
B80000810 | 軸承和油濾筒 |
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移動端
工商已核實
