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概述
EXT75DX分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結合使用的復合分子泵，采用成熟的軸承技術，上軸承為**性磁懸浮軸承，下軸承為油潤滑陶瓷軸承，并采用Holweck拖曳分級技術，可以DC 24V直接驅動，或使用TAG和 TIC控制器，可以并行和串行通信。入口法蘭有DN40NW、ISO63、DN63CF或 ISO100可選。
基本的分子泵系統通常由EXT75DX泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。
性能特點
智能控制，功耗低，減少運行成本
與Edwards TIC渦輪與儀表控制器兼容，可以添加1~3真空規而無需額外真空控制器，可以連接冷卻風扇和自動放氣閥
并行或串行接口：并行模式允許使用傳統控制模式；串行模式提供RS232接口，可以全面控制分子泵狀態，并連續監控放氣閥設置、運行轉速、待機轉速、可編程功率設置、功耗、泵/控制器溫度
入口配有篩網
上軸承為**性磁懸浮軸承：無需清潔、振動小、磨損低
配有手動放氣閥（可選配電磁閥，用于全自動放氣）
Holweck拖曳分級技術，實現高吞吐量和高前級壓力差
帶有吹掃口，提供制程氣體稀釋，以保護電機和下軸承
技術指標
入口法蘭 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW、DN100ISO-K | |||||
出口法蘭 | KF16 | |||||
抽 速 | ISO63/63CF | DN40NW | ISO100 | |||
N2 | 61l/s | 42l/s | 66l/s | |||
He | 57l/s | 49l/s | 59l/s | |||
H2 | 53l/s | 48l/s | 54l/s | |||
壓 縮 比 | N2 | >1×1011 | ||||
He | 1×106 | |||||
H2 | 5×104 | |||||
極限 真空 | RV泵，ISO/CF | <5×10-9/<5×10-10 mbar | ||||
隔膜泵，ISO/CF | <5×10-8/<5×10-9 mbar | |||||
推薦前級泵* | RV5/nXDS6i | |||||
放氣口/吹掃口 | 1/8英寸BSP母螺紋 | |||||
**連續入口壓力（輕質氣體）? | ||||||
水冷（水溫15°C，環境溫度40°C） | 2×10-2 mbar | |||||
空冷（環境溫度35°C） | 1×10-2 mbar | |||||
泵轉速 | ||||||
標稱轉速 | 90000rpm | |||||
待機轉速 | 49500~90000rpm可調 （缺省63000 rpm） | |||||
功率范圍 | 50~120W可調 （缺省80W） | |||||
90%轉速啟動時間 | 110s? | |||||
模擬輸出 | 泵轉速、功耗、泵溫度、控制溫度 | |||||
冷卻方式# | 空冷/水冷 | |||||
空冷環境溫度 | 5~35°C | |||||
*小水冷流速 （15°C的水） | 15l/ h | |||||
水溫范圍 | 10~20°C | |||||
入口法蘭**溫度 | 100°C | |||||
工作姿態 | 垂直、水平 | |||||
噪聲（1m處） | <50dB(A) | |||||
**耐受磁場 | 5mT | |||||
推薦控制器 | TIC100渦輪儀表控制器 | |||||
穩態功耗 | 10W | |||||
*根據應用可使用較小的前級泵，如使用隔膜泵要求極限真空小于 5 mbar，如XDD1。
? 如大于該入口壓力，轉速會降至標稱轉速以下。
? 功率為80 W。
#空冷和水冷卻附件須單獨訂購。
訂貨信息
貨號 | 描述 |
B72241000 | EXT75DX分子泵：DN63ISO-K入口法蘭 |
B72242000 | EXT75DX分子泵：DN63CF入口法蘭 |
B72243000 | EXT75DX分子泵：DN40NW入口法蘭 |
B72245000 | EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法蘭 |
B72246000 | EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法蘭（DN25NW前級泵接口） |
B72235000 | EXT75iDX分子泵：DN40NW入口法蘭 |
B72237000 | EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法蘭 |
B72238000 | EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法蘭（DN25NW前級泵接口） |
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Edwards EXT75DX渦輪分子泵的工作原理介紹？Edwards EXT75DX渦輪分子泵的使用方法？Edwards EXT75DX渦輪分子泵多少錢一臺？Edwards EXT75DX渦輪分子泵使用的注意事項Edwards EXT75DX渦輪分子泵的說明書有嗎？Edwards EXT75DX渦輪分子泵的操作規程有嗎？Edwards EXT75DX渦輪分子泵的報價含票含運費嗎？Edwards EXT75DX渦輪分子泵有現貨嗎？Edwards EXT75DX渦輪分子泵包安裝嗎？
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