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Automegasamdri-938, Series C
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 新配置的專用“慢充”控制,給樣品腔體提供理想的二氧化碳流體動(dòng)力學(xué),保護(hù)了大多數(shù)易脆樣品;
◆ 外部配置了PURGE后的過濾裝置,保護(hù)樣品,容易更換和后期維護(hù);
◆ 采用了****的“Vortex Swirl”非機(jī)械攪拌,使PURGE完全而不至于破壞樣品;
◆ 高效內(nèi)部封閉冷卻循環(huán)系統(tǒng),可以快速冷卻腔體溫度,縮短操作時(shí)間;
◆ 內(nèi)置SOTER冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣,消除排氣噪音;
◆ 獨(dú)特的樣品室填塊,可以改變樣品室直徑,減少液態(tài)二氧化碳的消耗量和處理時(shí)間,并兼容不同尺寸晶圓的處理;
◆ 內(nèi)部過濾系統(tǒng),過濾流進(jìn)樣品室的液態(tài)二氧化碳,過濾顆粒*低尺寸達(dá)到0.08μm;
◆ 一次運(yùn)行可以處理5片8英寸晶圓,改變樣品室尺寸,每次運(yùn)行也可以分別處理6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圓及10mm方晶;
◆ 標(biāo)配特氟龍兼容的8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圓樣品架和10mm方晶樣品架各1個(gè);
◆ 垂直樣品室,內(nèi)腔有照明,樣品室蓋子帶觀察窗;
◆ 明亮的LCD觸屏控制;
◆ 內(nèi)置出廠自動(dòng)運(yùn)行程序并可創(chuàng)建和保存?zhèn)€性化程序;
◆ 所有內(nèi)部表面適用于CO2,丙酮和超純乙醇;
◆ 可以重復(fù)設(shè)置的參數(shù),確保結(jié)果的可重復(fù)性;
◆ 集成自動(dòng)控溫和靜態(tài)壓力控制模塊,確保自動(dòng)安全的運(yùn)行;
◆ 潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì);
◆ 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn);
◆ 外部尺寸:寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm);
◆ 安裝占地尺寸:寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm);
◆ 樣品室尺寸:內(nèi)徑8.5” × 深1.25”,樣品室容積:1162 ml;
◆ LCO2的流速是通過帶游標(biāo)卡尺的微型計(jì)量閥門來控制;
◆ 120V/50-60HZ(可選其他電壓);
標(biāo)準(zhǔn)配件:
◆ 高壓不銹鋼LCO2管(內(nèi)襯Teflon) 3 米長;
◆ 雙T型過濾裝置,雙重過濾微小顆粒,過濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接,安裝方便;
◆ 安裝工具;
◆ 防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣;
◆ 樣品室O型圈3個(gè),樣品室LED照明燈1個(gè),3A和8A保險(xiǎn)絲各2個(gè);
◆ 5個(gè)Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括8、6、4、3、2和1.25英寸;
◆ 直徑為8、6、4、3、2英寸晶圓樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架各1個(gè),樣品架HF兼容;
◆ 用戶手冊(cè);
暫無數(shù)據(jù)!