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MSA-600顯微式激光測振儀
產(chǎn)品特點(diǎn)：
• 集多功能于一體的光學(xué)測量工作站
• 真正的實(shí)時(shí)測量，無需數(shù)據(jù)后處理
• ****的亞pm位移分辨率
• 測量速度快，振型可視化顯示
• 操作界面直觀友好
• 全自動(dòng)化測量，易于集成至商用探針臺(tái)上
技術(shù)參數(shù)：
• 微型結(jié)構(gòu)的面外振動(dòng)，測量單點(diǎn)振動(dòng)或者兩點(diǎn)間的相對(duì)振動(dòng)
如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、射頻MEMS開關(guān)、FEM有限元模型驗(yàn)證、CMUT、PMUT超聲換能器、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
• 微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動(dòng)
如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動(dòng)器的橫向運(yùn)動(dòng)
• 微型結(jié)構(gòu)的表面形貌
如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
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