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技術應用
lGASERA ONE CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術，結合量子級聯激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結合提供了足夠的靈敏度以無時延的探測*微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時保證了超高水平的穩定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。
l運行條件
溫度范圍：0℃…+49℃
濕度：無凝露
壓力范圍：750mbar-1050 mbar
防塵/水等級：IP20 (IEC 529)
l儲存條件
溫度范圍：-20 ℃ ~+60 ℃
l樣品氣體條件
溫度范圍：0 ~ +49 °C
濕度：無凝露，溫度達35°C時**相對濕度80%，溫度達49°C時線性下降至35%
壓力：750 mbar…1050 mbar
氣流：約1L/min
顆粒物< 1 μm
測量參數
l響應時間：取決于用戶可定義通道積分時間CIT以及氣體沖洗設定。根據平均時間和采樣設定從大約15秒到幾分鐘不等
l監測下限：N2O 2 ppb，CH4 10 ppb
l動態量程：5個數量級（檢測下限的100，000倍)
l重復性：運行條件下，校準濃度重復性小于1%
l準確度：校準濃度下好于5%，受限于校準氣體準確度
l溫度穩定性：在運行溫度范圍內的環境溫度變化不會導致漂移
l壓力穩定性：壓力范圍內的樣品壓力變化不會導致漂移
可靠的監測
l高靈敏度的GASERA ONE CF4可以在生產環境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質，可保證長期高穩定性。GASERA ONE CF4可與其他檢測儀器，如顆粒物監測儀等，整合在一個機柜里。
優勢
l準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制
l快速的響應時間，以捕捉急速上升的濃度
l獨立運行系統，內置氣體交換泵
l無耗材或者化學試劑
l短光程，單點校準也可達到業內**的動態量程
l直接吸收測量，無漂移
l校準間隔長（可達數年）
l高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾
特點
l高選擇性的監測痕量水平的CF4
l檢測下限(LoD)低于0.1 ppb
l響應時間可設置，從10秒到幾分鐘
l動態范圍寬，運行穩定
l無耗材
l低樣品量（幾ml）
l內置氣體交換系統
l重新校準間隔長（幾個月）
l直觀的用戶界面
l內置顯示屏，可數字式或者圖線式顯示結果
l可通過局域網遠程操作
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