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強磁場和真空中運動
非接觸式光學編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。
小型大行程納米促動器
數個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進驅動中執行步進運動,將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分辨率進行*小步進和推進運動。
PI的壓電電機原則上是真空兼容的,并且適合在強磁場中運行。驅動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進驅動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環境中。
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