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大尺寸快速退火爐(12英寸) - 適合光伏樣品
大尺寸快速退火爐(12英寸) - 適合光伏樣品

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上海載德半導體技術有限公司

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快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備??焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。

VPO-300是一款很有特點的快速退火爐,有非常大的退火空間,適合大尺寸樣品的熱處理。

儀器特點:

- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA;

- 可在真空、甚至于高真空環境使用;

- 加熱區域尺寸:300毫米 X 300毫米;

- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝,如156mm X 156mm電池片,300mm X 300mm電池片等;

參考用戶:

中科院上海技術物理所,中國電子科技集團41所;

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