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產地：美國；
型號：CAPOS；
通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發鍍膜，熱蒸發鍍膜技術是歷史*悠久的PVD鍍膜技術之一。熱蒸發鍍膜機一般主要用于蒸發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發鍍膜設備的示意圖。
技術規格特點：
- 基底尺寸：4英寸，6英寸，8英寸；
- 基底旋轉：0~10rpm；
- 熱蒸發源：4英寸或6英寸熱蒸發舟，交流電源；
- 腔體：鋁合金或不銹鋼材料可供客戶選擇，不同尺寸的箱式腔室可選；
- 泵：機械泵，擴散泵或者分子泵，供客戶選擇；
- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底；
- 工藝控制：PC/PLC機制的自動控制，使用GUI進行工藝控制、數據處理、遠程支持；
- 原位監控：石英晶振監測(QCM)，光學監測，殘余氣體分析，其他原位監測技術或控制；
- 襯底固定：單襯底固定，多襯底固定，行星式襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉等；
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