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噴射化學(xué)氣相沉積(Spray CVD)
產(chǎn)地：法國(guó)AS；
- 主要用于太陽(yáng)能電池氧化物、半導(dǎo)體、電光涂層、絕緣層、超導(dǎo)體、固體燃料電池等的材料制備及薄膜沉積。
- 2inch小型噴射化學(xué)氣相沉積設(shè)備，主要用于實(shí)驗(yàn)室。沉積及退火在同一個(gè)腔體內(nèi)完成。
性能和特點(diǎn)：
- 溫度范圍：室溫 ~ 1200攝氏度;
- *快升溫速度：250攝氏度/秒;
- 前驅(qū)體混合能力(帶有Atokit噴霧器);
- **真空度：10-6 Torr;
- 樣品尺寸：不大于2英寸;
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