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產品特點：
? 自由搭配的光纖架構，可安裝于生產線上、半導體晶圓研磨設備或真空鍍膜設備中。
? 遠端同步控制、高速多點同步測量等。
? 豐富多樣的光學系統套件與應用軟件，提供特殊環境下*理想的膜厚解決方案。
產品架構：
? 半導體晶圓面內分布測量
? 玻璃基板面內分布測量
? 即時性量測
? 輸送方向的定點品質管理
? 對應真空環境之設備
? 即時性測量
? 輸送方向的全面品質管理
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