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PlasmaEtch 等離子開封設備

等離子開封設備PlasmaEtch是一個革命性的氣體為基礎的半導體蝕刻系統。采用以前從未見過的應用微波氣體煽動化學基團為各向同性腐蝕。PlasmaEtch腐蝕大部分樣本大小，封裝類型和引線鍵合的類型。無論它是一個傳統的金絲樣品或者該樣品設有銅或銀導線，PlasmaEtch都提供了安全可靠的蝕刻。

等離子開封設備是為快速蝕刻模具化合物，聚酰亞胺芯片特別研發的，無需攻擊敏感的接線便可將芯片開封。

優點:

1）對銅線、數化銅線及

2) 銀線線無傷害

3) 傷害小 (selectivity > 500:1)

4)快速等向性蝕刻

5) 無離子、無輻射

6) 加力聚焦下游等離子體刻蝕

7) 質量流量控制的所有氣體

8) 低溫蝕刻

9) 各向同性蝕刻

主要特點:

1)可定制的蝕刻配方

2)蝕刻封裝類型多種多樣

3)優化開封微芯片

4)開封處理程序快速

5) 高刻蝕率及低成本

6) 完全Chemical-free 開蓋，符合環保要求

7) 針對銀線的**解決辦法

8) 移除率約200 μm/小時

(包括無機填充材料移除)

開封后的效果