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先進,實用的單層和多層鍍膜速率控制
用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3
裝備有ModeLock1**技術,提供驗證的模式跳躍防止功能,可達到始終如一的鍍膜質量. 使用XTC/3薄膜鍍層控制儀,可高度精確地控制鍍膜速率與膜層厚度, 具有能控制幾乎任何膜層數量的能力,容易安裝,和極高的可靠性,可確保高的生產率.
特 點 |
■ 有單膜層和多膜層型號
■ ModeLock**技術防止由于模式跳躍導致的膜厚誤差
■ 支持INFICON Crystal 12™, CrystalSix®和雙傳感器自動晶體切換,用于**生產率
■ XTC/3M多膜層型號支持多至99個工藝過程, 999個膜層, 32個鍍層, 2個傳感器和兩個源
■ XTC/3S單膜層型號支持多至9個鍍層, 2個傳感器和兩個源
■ 易閱讀的TFT LCD圖形顯示器
■ 為便于檢索,可指定獨特的和描述性的薄膜與過程名稱
■ 有以太網連接件
■ 單獨運行(無需計算機)或用PC運行的Windows®軟件選件
■ INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換件(限于XTC/2功能和指令組)
集成電路執照
光學鍍膜
濺射鍍膜
薄膜太陽能電池制造
OLED制造
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