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INFICON 公司生產(chǎn)的BCG 450 型B – A 皮拉尼電容薄膜真空計
將三種不同的規(guī)管綜合在一個小型經(jīng)濟的規(guī)管中,測量過程
壓強和基本壓強從5×10-10 至 1500 毫巴(3.75 ×10-10 至1125
乇)。BCG 450 用于取代三種傳感器(熱離子,對流增強型
皮拉尼和真空開關(guān)),從而節(jié)省成本和寶貴的空間。
用戶優(yōu)越性
BCG 450 節(jié)省成本和設(shè)備空間,降低真空測量的安裝與
設(shè)置的復(fù)雜性
10 乇以上的與氣體類型無關(guān)的壓強測量,對許多混合氣體
提供更可靠的自鎖控制
皮拉尼聯(lián)鎖保護熱燈絲,防止過早燒毀
自動的高真空和大氣壓皮拉尼調(diào)整,無需操作人員干預(yù)
相對于大氣壓的差壓測量免除了與大氣壓變化有關(guān)的不穩(wěn)定性
傳感元件容易更換,帶機載校準數(shù)據(jù)保證數(shù)據(jù)的再現(xiàn)性
備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體工藝,傳送和自鎖室的壓強測量
工業(yè)鍍膜
在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制
暫無數(shù)據(jù)!