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德國BMT WLI VLA干涉儀
德國BMT WLI VLA干涉儀可快色準確的測量粗糙和鏡面反射工件的表面輪廓。可用于測量平整度、波紋度、扭曲、臺階高度和多種其他表面特性。
產品特點:
•粗糙和鏡面反射表面的微觀測量
•平整度和輪廓測量
•測量結果不受樣品的顏色和材料影響
•測量時間短,數秒完成
•測量范圍大
•快速分析表面結構
•非常小巧
•自動獲取數據并評估進行
•可定制各種配置
•幾乎免維護
技術參數:
•光源 LED
•測量范圍 (mm) 15
•垂直分辨率(nm) ≥1
•橫向分辨率(μm) 20-80
•測量面積 (mm) 10×10— 40×40
•工作距離 (mm) 24
•數碼相機<14位(Pixel) 1280×1024
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