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KLA Gemini壓痕力學測試系統
每時每刻用正確的答案對摩擦學進行突破性的改變
使用KLA公司的Gemini系統探索新命令的準確性，精確度和控制，這是世界上**臺用于研究納米級摩擦學和機械測試動力學的多維儀器。
準確性- Gemini提供****的自由，可以在多個方面探索接觸力學，因為它來自Nanomechanics，每次都對正確答案有強烈的信心。
精確度- Gemini的等軸測量軸實現了****的分辨率力范圍和動態性能，意味著正常軸和橫軸都能提供KLA所期望的精確度。
控制-使用Gemini系統的多軸功能有效地解決了硬度，磨損和粘附問題，Gemini系統是以****的分辨率準確研究摩擦學問題的必不可少的工具。
摩擦學+
單一的粗糙表征， 粘滑滑動 ，超薄膜 ，潤滑 ，阻尼 ，各向異性 ，泊松比 ，模數 ，耐刮擦性 ，形貌 ，MEMS測試 ，附著力
準確的多維測量
**個提供等距力位移測量的工具，用于研究硬度，摩擦學，磨損和粘附性。
優越的規格
多維動態性能
寬負載和位移范圍：50 mN和50μm
張力或壓縮：無過渡
快速時間常數：20μs，具有亞納米級噪聲
電磁激活：低漂移和動態精度
高載荷框架剛度：7e5 N / m
精確的屬性測量
亞納米分辨率的樣品階段補充了致動器，以產生高精度的靶向和壓痕測量。
控制橫向力
測量準靜態和動態模式下的力和位移，采用亞納米和納米牛頓分辨率。
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