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全自動(dòng)單/雙面刷洗機(jī)品牌
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| 設(shè)備概述
全自動(dòng)單/雙面刷洗機(jī)由Loading、Unloading、晶圓機(jī)械手、刷洗、甩干單元等單體組成，通過(guò)晶圓機(jī)械手將晶片由Loading單元轉(zhuǎn)移到刷洗工位，通過(guò)毛刷對(duì)晶片表面進(jìn)行藥液、二流體、純水刷洗，清除晶片表面的微小粒子。
| 應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于碳化硅（SiC）、硅（Si）、氮化鎵（GaN）等半導(dǎo)體材料的刷洗，同時(shí)可用于藍(lán)寶石、陶瓷、水晶等材料。
| 設(shè)備特點(diǎn)
? 晶圓機(jī)械手傳輸晶片過(guò)程精度高、穩(wěn)定性高。
? 可兼容2、4、6、8寸晶片的刷洗。
? 自動(dòng)化操作無(wú)人工干預(yù)，避免二次污染。
? 全封閉刷洗環(huán)境，避免環(huán)境污染。
? 雙刷洗工位，有效提高生產(chǎn)效率。
? 實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出的加工方式。
| 可選配置
? 兆聲波發(fā)生器
? 濕進(jìn)干出裝置
? 翻轉(zhuǎn)裝置，實(shí)現(xiàn)單面轉(zhuǎn)雙面刷洗
| 設(shè)備參數(shù)
型號(hào) | CX-S6F | CX-S8F | |
上料工位 | 晶片尺寸 | 4、6寸 | 6、8寸 |
數(shù)量 | 2 | 2 | |
感應(yīng)裝置 | 包含 | 包含 | |
傳輸系統(tǒng) | 傳輸方式 | 晶圓機(jī)械手 | 晶圓機(jī)械手 |
清洗、甩干單元 | 數(shù)量 | 2 | 2 |
藥液噴灑裝置 | 3 | 3 | |
刷洗方式 | PVA毛刷 | PVA毛刷 | |
固定方式 | 卡爪/真空吸附 | 卡爪/真空吸附 | |
甩干方式 | 高速旋轉(zhuǎn) | 高速旋轉(zhuǎn) | |
下料工位 | 數(shù)量 | 2 | 2 |
感應(yīng)裝置 | 包含 | 包含 | |
控制系統(tǒng) | 系統(tǒng) | PLC | PLC |
顯示 | 10.4寸彩色觸摸屏 | 10.4寸彩色觸摸屏 | |
廠務(wù) | 電源 | AC220V 50Hz | AC220V 50Hz |
尺寸 | W1230mm * L1850mm * H2050mm | W1230mm * L1850mm * H2050mm | |
重量 | 約700Kg | 約700Kg | |
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