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量產(chǎn)級(jí)多功能薄膜沉積設(shè)備品牌
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該設(shè)備基于晶圓真空傳輸平臺(tái)VTM，可以靈活配備傳輸腔室和工藝腔室，工藝腔室可選配電子束蒸發(fā)腔室、分子束外延腔室、濺射腔室、熱蒸發(fā)腔室和預(yù)清洗腔室等。可實(shí)現(xiàn)多種材料的精確沉積。
性能參數(shù)
| 晶圓尺寸 | 8~12吋 |
| 極限真空 | 優(yōu)于5×10-9mbar（工藝室PM） 優(yōu)于5×10-7mbar（傳輸室TM） 優(yōu)于5×10-6mbar（進(jìn)樣室Load lock） |
| 工藝室 | 可選配電子束蒸發(fā)腔室、分子束外延腔室、熱蒸發(fā)腔室、預(yù)清洗室、濺射室、退火室、低溫室、蒸發(fā)室、氧化室等 |
| 傳輸室 | 可選四邊形、六邊形或八邊形腔室，可實(shí)現(xiàn)多個(gè)傳輸室互聯(lián)，配置雙臂或單臂機(jī)械臂，配置校準(zhǔn)和測(cè)量裝置 |
| 進(jìn)樣室 | 8或12吋晶圓，可選EFEM等前端模塊 |
| 詳細(xì)配置可咨詢業(yè)務(wù) |
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