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15KW碟型腔4英寸單晶多晶生長直徑的MPCVD設備品牌
海光智能產地
廣東樣本
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15KW碟型腔4英寸單晶多晶生長直徑的MPCVD設備，101顆7*7mm晶種
微波功率調節連續平緩，沉積溫度可以連續穩定變化。
沉積反應室的結構調整，沉積腔中產生大面積又穩定的等離子體球可以大面積均勻沉積。
適應不同尺寸和形狀的襯底，較高的靈活性,通過調整工藝參數，如高硬度、高熱導率、高透光性等。
通過升級或擴展來實現更大規模的生產,提高了設備的利用率和****率。
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