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一、裝備介紹
微波等離子體設備是在常壓或低真空情況下，通過微波等離子發生器對反應腔內工藝氣體，施加微波電磁能量，使氣體產生等離子體，對氣體進行熱解和高度電離，同時特殊氣體經過等離子電離后，利用等離子的特性，作用于產品表面，提高表面活性，增加附著性能的目的。微波等離子體設備操作簡單、安全可靠、自動化程度較高。
二、特點
1、一定條件下，能使尾氣高度電離和離解，設備安全可靠；
2、等離子設備氣壓范圍內較寬，可獲得氣體的等離子化；
3、無內部電極，消除氣體污染和電極腐蝕；
4、氣體微波等離子體化產生不帶高壓，微波輻射易防護；
5、設備自動點火，操作簡單、安全可靠；
6、氣體參數變化范圍較大，為廣泛應用提供可能性。
三、應用
1、微波等離子火炬技術，應用于工業尾氣的處理，及材料高溫燒結；
2、微波等離子體化學氣相沉積（MPECVD）:制備單晶、多晶金剛石，制備SiC、寶石、切削刀具等；
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