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PU21系列小流量高純減壓器品牌
潔安流體產地
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結構特點 Features
◆ 金屬膜片密封 ，提高產品的潔凈度與泄漏率
◆ 流道內部電解拋光粗糙度：EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin
◆ 母體螺紋：1/4"JFS接頭
◆ 內部容積：0.49in3
◆ ＊大流量：標準:30 SLPM,高流量 HF:120 SLPM
◆ 設計驗證壓力：＊大額定壓力的150%
◆ 設計爆炸壓力：＊大額定壓力的300%
◆ 100%出廠氦氣測試
產品應用 Product application
◆ 腐蝕性和特殊氣體
◆ 半導體行業
◆ 研究實驗室
◆ 化學工業
技術參數 Specifications
◆ 母體 ：SS316L ，SS316L VIN/VAR ，Hastelloy?C22
◆ 閥座： PCTFE，Vespel?
◆ 膜片 ：SS316L，Hastelloy?C22合金
◆ 進氣壓力：300, 3500psig
◆ 出氣壓力：10,15,25, 50, 100, 150psig
◆ 工作溫度：PCTFE：- 10℃至80℃ ( 14℉至176℉)
Vespel?：- 26℃至177℃ ( 15℉至350℉)
◆ 泄漏率：
內漏2x10-10 sccs He
外漏2x10-9 sccs He
◆ 流量參數：Cv =0. 09 HF Cv=0.15
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