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面議型號
槽式清洗機 Ultron B200品牌
佳鼎半導(dǎo)體產(chǎn)地
山東樣本
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關(guān)鍵應(yīng)用:
柵極預(yù)清洗
RCA清洗
光阻去除
氧化硅腐蝕
氮化硅腐蝕
CoSix選擇性腐蝕
產(chǎn)品優(yōu)勢:
1、占地面積小,將外部unit 集成在設(shè)備內(nèi)部來減小整體的占地面積;
2、高產(chǎn)能,優(yōu)化的Marangoni Dryer;
3、重新設(shè)計槽體流場,較好的清洗效果和均一性;
4、有機清洗,控片回收;
5、機臺將back conveyor集成在機臺的后上方,節(jié)省了空間 ;
6、機臺采用PLC和PC的結(jié)合控制方式, 系統(tǒng)可靠高;
7、優(yōu)化機臺內(nèi)部流場設(shè)計,帶來更好的articleperformance
8、破片偵測系統(tǒng),防止二次傷害;
暫無數(shù)據(jù)!