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全自動晶圓刷洗機 TSC-150C品牌
產(chǎn)地
北京樣本
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全自動晶圓刷洗機
TSC-150C/200C/200L
該系列設(shè)備是晶圓拋光后的專用清洗設(shè)備，集成全自動上下料系統(tǒng)、雙面PVA刷洗、兆聲清洗、甩干&N2吹干等單元，集成度高，濕/干進干出，適用于各種半導(dǎo)體晶圓拋光后的清洗。
TSC-150CTSC-200CTSC-200L
清洗工位皮帶傳送式6工位
晶圓尺寸3-6英寸
刷洗工位*22個PVA刷，雙面刷洗
Features
產(chǎn)品特點
清洗工藝
預(yù)清洗/雙面刷洗/漂洗/兆聲/吹干/甩干
刷子類型
PVA 刷 雙面刷洗
PLC控制系統(tǒng)
觸摸屏操作
全自動系統(tǒng)
皮帶傳動 Cassette in/out 干進干出
暫無數(shù)據(jù)！
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