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電子束連續(xù)生產(chǎn)線品牌
中科唯實產(chǎn)地
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電子束連續(xù)生產(chǎn)線
主要功能在玻璃或其他基材上,用電子束沉積的方式蒸鍍各種金屬膜或介質(zhì)膜。
◆蒸發(fā)內(nèi)腔尺寸:1.5×1.5×1.4m
◆蒸發(fā)室極限真空:≤ 2×10-4Pa
◆電子槍:4支,每支10kW
◆離子源:4支,空心陰極
◆烘烤溫度:**270℃
◆走速:0.5—5m/min
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