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連續加料直拉單晶爐 CCz品牌
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連續加料直拉單晶爐 CCz
主要技術指標
1、整機尺寸:(LWH)2000X2300X10800m;
2、主腔室內徑1400mm，副爐室內徑350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz熱場，可拉制10英寸以下直徑的晶體;
3、加熱方式:電阻加熱，DC電源Pmax=150:50Kw，頻率50Hz;
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