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TRX40型直拉單晶爐主要技術參數
序號 | 名 稱 | 參 數 | 備 注 |
1 | 爐膛尺寸 | Φ400mm×700mm | |
2 | 電源 | 三相AC220V 60Hz | |
3 | 加熱功率 | 3×3kw | 3段式 |
4 | **加熱溫度 | 1200℃ | |
5 | 工作溫度 | 1150℃ | |
6 | 控溫精度 | ±0.5℃ | |
7 | 坩堝軸升降速度 | ≥200mm/min | |
8 | 坩堝軸行程 | 150mm | |
9 | 籽晶軸慢速 | 0.01-2mm/h | |
10 | 籽晶軸快速 | ≥200mm/min | |
11 | 籽晶軸轉速 | 0-100rpm | |
12 | 籽晶軸行程 | 500mm | |
13 | **高度 | 2800mm | |
14 | 主機重量 | 1500kg | |
15 | 占地面積 | 1800mm×1800mm | |
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