看了8N/7N系列純化器的用戶又看了
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應用領域:
適用于電子半導體、大規模集成電路、MAMS、單晶硅多晶硅及硅外延、LED、TFT、氮化鎵、碳化硅、科研開發、實驗分析等。
特點:
● 適用于氮氣、氫氣、氧氣、氬氣、氦氣和氨氣,原料氣不低于99.999%
● 深度脫除雜質O2、H2O、CO、CO2、H2、N2、CH4和NMHC至1ppb/10ppb
● 雙塔交替吸附再生,單塔催化,終端Getter吸附,全自動連續運行
● EP級拋光不銹鋼管件
● 配置0.003μm過濾器,去除率可達99.999999% /99.99999%
● 西門子 PLC 可接入DCS系統
● 安全報警功能完善
● 可提供遠程云服務
● 超凈環境中生產組裝
● 氣體處理量10-20000Nm3/h
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