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真空被銀設備1
用途:主要用于對石英晶體振蕩器在真空狀態下蒸鍍金屬電極(金、銀、鉻)
真空室內腔尺寸:φ860mm*H390mm
蒸發源:4路獨立阻蒸(8V/400A)
離子轟擊:0-3KV,0-200mA
真空系統:雙極旋片泵+分子泵空載
極限真空:3.0x10-4Pa空載恢復真空:2x10-3Pa≤10min
真空被銀機的內腔尺寸、泵組配置等可根據客戶的工藝要求量身定制
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