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RIGAKU日本理學新一代形貌檢測系統 XRTmicron品牌
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●X射線源：微焦點高亮度旋轉陽極
●入射光學器件：多層平行光束準直器
●可使用晶體準直器
●自動更換樣品（以水平配置為例）
●兼容投射&反射幾何的測角儀系統
●使用高靈敏度和高分辨率X 射線照相機捕獲數字圖像
●位錯形貌圖像分析
●不僅用于研發，也用于批量質量管控
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