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MCS 系列耐腐蝕氣體流量控制器品牌
博思飛爾產地
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MCS 系列耐腐蝕氣體質量流量控制器可快速達到設定值并保持對 128 多種氣體（包括 32 種腐蝕性氣體）的質量流量、體積流量或壓力的穩定控制。
腐蝕性氣體兼容 - 與32 種純腐蝕性氣體和大多數制冷劑氣體兼容的接液材料。
用途廣泛且準確 - 對128 種以上的氣體和 20 種自定義混合物進行實時控制，具有 NIST 可追溯精度至 ±（讀數的 0.4% + 滿量程的 0.2%）。
快速控制，多變量數據 - 通電后的毫秒響應時間，以您選擇的工程單位控制質量流量、體積流量或壓力，并顯示瞬時流量、壓力和溫度讀數。
易于集成 - 定制過程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業過程中。
| 精度 | ± 0.8 %R.D and ± 0.2 %F.S |
重復度 | ± 0.2 %F.S |
| 控制范圍 | 1–100% F.S |
| 控制響應時間 | （T63）用戶可調：0.5 SCCM-5 SCCM :100-4000ms；10 SCCM-20 SLM :30-4000ms；50 SLM-5000 SLM：30-150ms |
| 顯示響應時間 | 用戶可調：0.5 SCCM-5 SCCM :100-4000ms；10 SCCM-20 SLM :<10ms；50 SLM-5000 SLM：65-255ms |
| 溫度精度 | ±0.75°C |
| 工作溫度 | ?10–60°C |
| 壓力精度 | ±0.5%R.D |
預熱時間 | <1 s |
| 模擬通訊 | 4–20 mA, 0–5 VDC, 1–5 VDC, 0–10 VDC |
| 數字通訊 | RS-232； RS-485 ；Modbus RTU (over RS-232 or RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus |
| 電氣接口 | 6 pin locking, 8 pin mini-DIN, 8 pin M12, DB-9, DB-15 |
| 電 源 | 12 - 30 VDC ； 250 mA，1 A，2 A額外加 40 mA（ 4-20 mA ） |
| 閥門類型 | 常閉 |
| 密封材質 | 316L、303、和430FR不銹鋼、FFKM（標準）可根據特殊氣體選用FKM或EPDM，R閥門增加410不銹鋼 |
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