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MAIA3是新開發的分析用掃描電子顯微鏡，它可以得到在15kV下1nm的超高分辨率。采用二次電子信號，在1kV下分辨率為1.4nm。此型號電鏡配備肖特基場發射電子槍，以及TESCAN先進的三透鏡電子光學系統。
相比于常規物鏡，它采用了TESCAN獨特構造的60度磁浸沒物鏡，它能顯著地減小光學像差，在低電壓下依然有著超高的分辨率。另外，添加的中磁透鏡可以和物鏡同時使用或者代替物鏡觀察，以提供多種顯示模式。
*重要的特性：
u 具有非凡分辨率的單極60度角物鏡；
u 無場模式用于磁性樣品的觀察；
u 高亮度肖特基電子槍可得到高分辨率/高束流/低噪聲的圖像；
u 鏡筒中的In-Beam二次電子探測器用于小工作距離條件下二次電子的檢測；
u 獨有的三透鏡大視野觀察設計，提供了多種工作模式和顯示模式，體現了TESCAN專有中間透鏡（IML）的功能；
u 實時電子束追蹤技術，可模擬和進行束斑優化，包括直接和連續控制電子束束斑和束流大小；
u 電子束減速模式在低電壓下獲取優秀的分辨率(選配)；
u In-Beam背散射電子探測器用于小工作距離的背散射電子成像；
u 成像速度快；
u 高通量大面積自動化，例如自動顆粒分布和分析；
u 計算機優化、馬達驅動的樣品臺；
u 利于EDX、EBSD分析的理想幾何設計；
u 由于使用了強力的渦淪分子泵和機械泵，因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室；電子槍的真空度由離子泵來維持；
u 包括電子光學設置和校準的全自動顯微鏡設置；
u 完善的軟件用于SEM控制，圖像采集、存檔、處理和分析；多用戶多語言操作界面；
u 網絡操作和內置的遠程控制/診斷是TESCAN的標準配置；
u 獨特的3維電子束技術用于獲得實時立體圖像。
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