中國粉體網訊 在先進的大規模集成電路制造過程中有著幾百種工藝步驟,圓片需要在多達幾百種的工藝設備之間來回傳輸并進行加工檢測。在加工過程中,圓片必須被十分平穩、固定地安放在工藝設備上。圖片來源:海拓創新靜電吸盤結構及工作原理傳[更多]
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