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擴(kuò)散爐品牌
產(chǎn)地
河南樣本
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其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
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設(shè)備簡(jiǎn)介：
均溫氧化擴(kuò)散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽(yáng)能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于2-8英寸工藝尺寸
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配置詳情
| 設(shè)備特點(diǎn)： 1.溫場(chǎng)均勻，恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：300～1250mm 800~1200℃±1℃ 2.具有強(qiáng)大的軟件功能，NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)，用戶(hù)可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件； 6.可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能，具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償 | ||||||
可配工藝管外徑 | 爐管外徑152mm 適用于3＂；爐管外徑252mm 適用于6＂； 爐管外徑300mm 適用于8＂ | ||||||
溫度控制范圍 | 300~1150 ℃ | ||||||
恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度 | 300～1250mm（依客戶(hù)要求定） 300~800 ℃±1.5℃, 800~1100 ℃±1℃ | ||||||
可控升降溫速率 | 升溫速率：≦15℃/min 降溫速率≦5℃/min | ||||||
加熱區(qū)個(gè)數(shù) | 3區(qū)，4區(qū)，5區(qū)，6區(qū)（依客戶(hù)要求定） | ||||||
送料方式 | 手動(dòng)送料 | ||||||
冷卻系統(tǒng) | 水冷2-4Kgf/cm2，8L/min；＋上接排風(fēng)冷≈25m3/min； | ||||||
軸向溫場(chǎng)分布 | |||||||
徑向溫場(chǎng)分布 |
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控制系統(tǒng) |
| 1.可預(yù)存15條工藝曲線，避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來(lái)的麻煩； 2.實(shí)驗(yàn)過(guò)程更加直觀，操作更加便捷； 3.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，10寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，非線性式樣溫度修正； 4.具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。 | |||||
加熱腔體 |
| 采用優(yōu)質(zhì)加熱絲：KANTHAL及HRE 絕熱材料：晶體纖維等 絕緣子：高純剛玉，間距依據(jù)溫場(chǎng)調(diào)節(jié) 端口過(guò)渡環(huán)：氧化鋁纖維真空成型。 溫區(qū)：3段、4段、5段、6段
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真空密封系統(tǒng) |
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真空度：≤10Pa（機(jī)械泵） | |||||||
供氣系統(tǒng) |
| 采用質(zhì)子流量計(jì)控制氣體流速，與設(shè)備集成為一體； | |||||
可選配項(xiàng)目 | 1. 出料口排毒氣柜； 2. 凈化出料臺(tái)； 3. 自動(dòng)石英漿推拉舟機(jī)構(gòu) | ||||||
設(shè)備使用注意事項(xiàng) | 1. 裝取樣片必須帶石棉手套，使用石英器件小心打碎； 2. 選擇合適的石英舟，取出清潔好的石英托板和石英拉鉤； 3. 安裝樣片插入到石英舟的槽內(nèi)，用石英拉鉤將石英舟推入爐管到恒溫區(qū)； 4. 爐管內(nèi)壓力不得超過(guò)0.15MPa（**壓力），以防止壓力過(guò)大引起危險(xiǎn)； 5.高真空下使用時(shí)），設(shè)備使用溫度不得超過(guò)1000℃； | ||||||
服務(wù)支持 | 一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如爐管和密封圈等） | ||||||
免責(zé)聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等），僅供參考。可能由于更新不及時(shí)，或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異，請(qǐng)與本公司客服人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，諾巴迪公司不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知。
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