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PECVD系統就是為了使傳統的化學氣象沉積（CVD）反應溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應裝置將反應氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應，所以這個系統稱為增強型化學氣相沉積系統（PECVD）。 該型號PECVD綜合了國內大多數廠家的管式PECVD系統的優點，在PECVD前端加入了氣體預熱區，實驗證明此結構沉積速度快，成膜質量好，針孔較少，不易龜裂。
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