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專為超大納米平板顯示器測量而設計的自動化原子力顯微鏡（AFM）系統品牌
Park產地
韓國樣本
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隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計量需求的增加，Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測量，臺階高度測量和關鍵尺寸測量。
為OLED面板行業整片測量，超高尺寸鏡片測量，提供全自動的原子力顯微鏡計量解決方案。
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