LEBO 旋涂儀 EZ6

規(guī)格參數(shù)：

1、旋涂基材6英寸或更小

2、包括三個真空旋轉(zhuǎn)卡盤

3、用于手套箱的占地面積小

4、易于使用的觸摸屏界面

5、可編程旋涂工藝

6、耐用的設(shè)計以及耐化學(xué)腐蝕的材料

7、耐化學(xué)腐蝕HDPE旋轉(zhuǎn)碗

8、耐用的不銹鋼機(jī)身，具有耐化學(xué)腐蝕的透明旋轉(zhuǎn)蓋

9、4.3”觸摸屏界面

10、基板尺寸：從1厘米到6英寸晶圓

11、轉(zhuǎn)速范圍：100-12000 RPM

12、轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM

13、加速范圍：空載100-30000 RPM / s

14、程序：10個旋轉(zhuǎn)程序，每個程序有10個步驟

15、安全：真空聯(lián)鎖和旋轉(zhuǎn)蓋聯(lián)鎖

16、尺寸：270(W)*387(D)*258(H)