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Micro-Vu的高精度視覺量測系統具有強大的功能性，可被廣泛的應用在各種量測的需求先進的機構設計造就了高性能的速度與精度，前瞻性的機電整合技術，運用USB傳輸，簡化了量儀與電腦的溝通InSpec for Windows 幾何量測軟件提供簡易且人性化的接口，讓量測、資料轉換及報表輸出變得容易操作與上手，InSpec提供的光源系統提升了尋邊與自動對焦的辨識能力與功能。
規格參數：
技術參數 | Model | 501 UC | 502 UC |
實體特性 | 測量范圍 | 400mm×500mm×150mm | 400mm×500mm×250mm |
儀器外觀尺寸 | 1100mm×1200mm×1550mm | 1100mm×1200mm×1650mm | |
凈重 | 860kg | 900kg | |
X，Y軸大速度 | 700mm／s | 700mm／s | |
X，Y軸大加速度 | 1400mm／s2 | 1000／s2 | |
Z軸大速度 | 100mm／s2 | 100mm／s2 | |
Z軸大加速度 | 450mm／s2 | 450mm／s2 | |
光柵尺分辨率 | 0.1μm | ||
X，Y軸精度 | 2.5+L／200μm | 2.8+L／200μm | |
Z軸精度 | 2.5+L／100μm | 3.0+L／100μm | |
變焦鏡頭（光學，數位） | 36x（12x，3x） | ||
放大倍率 | 15x -540x to 30x -1080x | ||
工作臺承重 | 100kg on Glass | ||
電源參數 | 輸入電壓 | 93-264 VAC | |
輸入電流 | 47-63 Hz | ||
環境參數 | 操作環境溫度 | 20℃±2.0℃ | |
靜置環境溫度 | -25℃-60℃ | ||
適當的溫度 | 30%-80% | ||
儀器噪音值 | <70dB(A) | ||
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