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美國Janis超高真空型探針臺UHV系統
Janis在UHV環境里為電學材料提供了一套完整的探針臺系統。既有幾款標準配置,也可以根據客戶需要專門定制。Janis有40多年的制造UHV的經驗,利用這些技術制造UHV探針臺。
典型的UHV探針臺包括:
金屬法蘭(CF)密封的不銹鋼真空腔
UHV 級電學真空接頭和電子探針
UHV 級光學觀察窗
可烘烤至120℃
室溫或低溫配置
樣品尺寸直徑25-50mm
集成2-8個x-y-z 探針臺和探針
溫度范圍從5-700K
觀察樣品和探針的單像管、照相機和監視器
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