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100-150萬元型號
CM-005品牌
超邁光電產地
四川成都樣本
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●本設備在成都光學鍍膜機產業鏈發達基礎上，在核心部件、控制系統和結構設計上吸收國際一流產品技術精髓，開發出surpass系列產品。本設備適用于高精密光通訊產品鍍制光學膜: 電學膜、金屬膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各種濾光片、玻璃片及塑膠（樹脂）件上鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系的鍍膜，能夠根據客戶需求定制。
●形式：φ650-3500mm，箱式一體機，立式前開門，蒸發室和抽氣室為整體焊接式，一體機系統。
●真空系統：極限真空8X10-5Pa，主泵為復合分子泵低溫泵擴散泵可選。
●真空測量：配三路數字復合真空計，均采用安全防爆金屬測量規。
●工件架系統：客戶需求定制，轉速3～30rpm變頻可調，工件盤為球形和行星工件盤可選。
●烘烤系統：不銹鋼鎧裝加熱器匹配數字功率控制器和PID控制模塊，烘烤溫度300℃，溫控精度1℃，過沖不超過2℃。
●電子束蒸發源：E型電子束蒸發源系統（E型）1-2套，主體有屏蔽罩，配置獨立高壓控制柜。
●旋轉蒸發源：電動轉位和點動轉位，配置無氧銅坩堝和石墨坩堝各一套。
●電阻蒸發源：2套電阻蒸發源。（選配）
●膜厚測試系統：配瑞士inficon石英膜厚在線測量系統， RS-232 和 USB兼容，匹配水冷膜厚探頭。
●離子源輔助沉積系統：一套（選配離子源或高壓離子轟擊系統）。
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