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樣氣流量: 400~600mL/min
進氣壓力:5kPas相對壓力S200kPa (>200kPa建議選裝減壓閥)
排氣壓力:自由排空(安全條件下)
背景氣體:N或其他惰性氣體
規格尺寸:155mmx155mmx255mm (HXWXD)
開孔尺寸:135mmX135mm (HXW)
傳感器壽命:短壽命型>4年、長壽命型>6年(正常使用條件下)
氣路接口:NPT1/8內螺紋
安裝方式:嵌入式
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