出口直徑(mm):
-進口直徑(mm):
-泵軸位置:
其他驅動方式:
其他輸送物料:
-連接方式:
其他材質:
其他口徑:
-壓力:
-設計標準:
-虛擬號將在 180 秒后失效
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TORRI
多級羅茨真空泵
TORRI 多級羅茨真空泵可為抽空 load lock 腔體提供結構緊湊、高效節能的解決方案。
該泵具有低極限壓力和出色腔體抽真空時間等特點。
工作原理
TORRI BD 真空泵依據久經考驗的旋轉轉子原理進行工作。通過轉子的旋轉運動,泵送介質被一級級輸送至出口。
由于轉子具有特殊輪廓且采用精密工藝制造,它們不會彼此觸碰或觸碰到殼體。此外,壓縮腔內無需添加任何潤滑液或工作液。
轉子由直接耦合連接的同步水冷型電機驅動。
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