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GSS600超聲掃描顯微鏡-半導(dǎo)體行業(yè)品牌
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超聲掃描顯微鏡（SAT）是一種利用超聲波為傳播媒介的無(wú)損檢測(cè)成像設(shè)備，主要利用高頻超聲波，對(duì)各類半導(dǎo)體器件、材料進(jìn)行檢測(cè)，能夠檢測(cè)出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，并以圖形的方式直觀展示。在掃描過(guò)程中，不會(huì)對(duì)樣品造成損傷，不會(huì)影響樣品性能，可滿足陶瓷基板、IGBT、水冷散熱器、電池、半導(dǎo)體、電器焊接件、金剛石復(fù)合材料、碳纖維復(fù)合材料等產(chǎn)品質(zhì)控需求。
1.1 產(chǎn)品名稱
超聲掃描顯微鏡
1.2 數(shù)量
1臺(tái)
1.3 規(guī)格型號(hào)
型號(hào) | 機(jī)器示意圖 |
SHSIWI GSS600 |
|
注：上圖僅供參考，實(shí)際產(chǎn)品可能會(huì)有所差別
1.4 機(jī)電特性
機(jī)電特性 | 規(guī)格型號(hào) |
整機(jī)尺寸 | 1000mm×900mm×1400mm |
水槽尺寸 | 620mm×650mm×150mm |
有效掃描范圍 | 350mm×300mm×100mm |
******掃描速度 | 600mm/s |
圖像推薦分辨率 | 1～4000um |
定位精度 | X/Y≤±0.5μm，Z≤±5μm |
重復(fù)定位精度 | X/Y≤±0.01mm，Z≤±0.02mm |
上下水 | 水壓注水，水泵排水。 |
二、廠務(wù)安裝條件
2.1 設(shè)備尺寸
設(shè)備整機(jī)尺寸1000mm（長(zhǎng)）×900mm（寬）×1400mm（高）。安裝方案基于空間占用*小化和維護(hù)/服務(wù)條件**化的需要，保證在設(shè)備周?chē)粲?/span>500mm的空間，可以方便工作人員進(jìn)行操作、維護(hù)。
2.2 電腦桌
設(shè)備配有電腦桌，用于安放鼠標(biāo)、鍵盤(pán)及顯示器。用戶也可自行配備。
2.3 電力供應(yīng)
工作電源：220V±10%/50Hz，1~2KW
另外，設(shè)備配有UPS電源，以保護(hù)設(shè)備運(yùn)行安全。
2.4 水源：
設(shè)備需要自來(lái)水、去離子水或者純凈水，并且需要定期更換。水溫要求：15～30℃
2.5 環(huán)境相對(duì)濕度：35℃≤50％RH
2.6 環(huán)境溫度要求：20～35℃
2.7 周邊環(huán)境：
不要放在強(qiáng)磁場(chǎng)、電磁波和產(chǎn)生高頻設(shè)備的旁邊。
減少振動(dòng)。
灰塵少、濕氣少，沒(méi)有腐蝕性氣體的地方。
電源的變化，限制到*小。
為了防止地震的損壞，四周一定要固定。
三、設(shè)備主要配置表
序號(hào) | 名稱 | 規(guī)格 |
1 | 掃描系統(tǒng) | X軸：直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)；Y軸：伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)；Z軸：步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
2 | 水槽 | 620mm x 650mm x 150 mm |
3 | 超聲發(fā)射、接收器 | 帶寬1-65MHz |
4 | 高速數(shù)據(jù)采集卡 | 采樣頻率 500MHz |
5 | 超聲探頭 | 本機(jī)型可適配100MHz及以下頻率的探頭； 本機(jī)型標(biāo)配50MHz0.5in探頭一只；透射模組T-scan一套； |
6 | 工控機(jī) | i5處理器、內(nèi)存8GB、硬盤(pán)1T、Win10 64位操作系統(tǒng)。 |
7 | 顯示器 | 兩個(gè)27"液晶顯示器 |
8 | 檢測(cè)軟件 | 思為超聲無(wú)損檢測(cè)軟件V2.0 |
四、半導(dǎo)體芯片封裝分層檢測(cè)能力
測(cè)量能力 | 能力描述 |
標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量誤差 | 測(cè)量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊，在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下，超聲檢測(cè)多次測(cè)量誤差在±1%。 |
工件測(cè)量誤差 | 選取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件，采用同一處方且檢測(cè)量程不變的情況下分別調(diào)整增益22dB、26dB、30dB進(jìn)行檢測(cè)，三次檢測(cè)結(jié)果釬著率差值在±1%以內(nèi)。 |
厚度測(cè)量范圍 | Epoxy材料： Cu材料： 0.5 ~ 2mm（50MHz探頭） 0.5 ~ 1.4mm（25MHz探頭） 1.0 ~ 4.0mm（15MHz探頭） 1.2 ~ 3.7mm（15MHz探頭） 注：根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭 |
缺陷識(shí)別能力 | 在測(cè)量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi)，被測(cè)材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下，且超聲入射表面為平面的被測(cè)產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識(shí)別能力為0.15毫米（15MHz、25MHz探頭）和0.07毫米（50MHz探頭）。 |
五、軟件功能
軟件功能 | 功能描述 |
手動(dòng)掃描 | 可以通過(guò)手動(dòng)的方式生成C掃描圖像，反映被檢焊接結(jié)合面結(jié)合情況，并以釬著率、缺陷面積等數(shù)值的形式顯示檢測(cè)結(jié)果。 |
探頭與C掃圖像對(duì)位 | 可通過(guò)點(diǎn)擊C 掃圖的具體像素點(diǎn)將探頭移至與實(shí)際被檢工件相對(duì)應(yīng)的位置。 |
手動(dòng)分析 | 對(duì)生成的C掃圖片可以進(jìn)行各種編輯，包括加框（確認(rèn)有效分析區(qū)域），測(cè)距，修改閾值，圖片剪裁，弧面補(bǔ)償?shù)取?/span> |
多種掃描模式 | （1） A掃描：查看超聲反射或透射波形； （2） C掃描：對(duì)焦深度上沿X-Y平面掃描并成像； （3） T掃描：安裝透射探桿，執(zhí)行穿透掃描； （4） 區(qū)域掃描：可自定義檢測(cè)區(qū)域，并對(duì)檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行掃描； （5） 斷層掃描：在指定的多種深度自動(dòng)多次執(zhí)行C掃描并成像； （6） 批量掃描：對(duì)放置于水槽中的一種或多種工件進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)。 |
報(bào)告自動(dòng)生成 | 可對(duì)檢測(cè)結(jié)果自動(dòng)進(jìn)行編輯并輸出報(bào)告文檔。 |
探頭管理 | 可對(duì)不同型號(hào)探頭進(jìn)行更換或編輯。 |
一鍵自動(dòng)校準(zhǔn) | 可自動(dòng)對(duì)檢測(cè)設(shè)備坐標(biāo)偏移及檢測(cè)系統(tǒng)能量變化，能實(shí)時(shí)校準(zhǔn)系統(tǒng)漂移，保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。 |
不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)度 | 系統(tǒng)自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測(cè)用鋼對(duì)比試塊的制作與校驗(yàn)方法》的不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊。認(rèn)定該不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊的超聲反射強(qiáng)度=100 STSS（“STainless Steel Standard”的縮寫(xiě)），其他所有材料的檢測(cè)相對(duì)于STSS做換算。 |
缺陷檢測(cè)能 | 焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區(qū)域和良好區(qū)域。 可對(duì)缺陷尺寸和面積進(jìn)行自動(dòng)統(tǒng)計(jì)和計(jì)算。也可根據(jù)客戶的要求，提供有償定制開(kāi)發(fā)服務(wù)。 |
厚度檢測(cè) | 金剛石圓片等工件的金剛石層厚度檢測(cè)。 |
密度檢測(cè) | 粉末冶金原材料密度分布檢測(cè)。 |
斷層檢測(cè) | 對(duì)被測(cè)工件不同深度位置獨(dú)立對(duì)焦和掃描，形成多層斷層圖像，展現(xiàn)立體缺陷。 |
聲速檢測(cè) | 聲音在被測(cè)材質(zhì)中的飛行速度檢測(cè)。 |
六、標(biāo)準(zhǔn)材料聲速表
材料 | 聲速（m/s） | |
鋁 | Aluminum | 6305 |
鋼 | Steel,common | 5920 |
不銹鋼 | Steel,stainless | 5740 |
黃銅 | Brass | 4399 |
銅 | Copper | 4720 |
鐵 | Iron | 5930 |
銀 | Sliver | 3607 |
金 | Gold | 3251 |
鈦 | Titanium | 5990 |
聚氯乙烯 | PVC | 2388 |
樹(shù)脂 | resin | 4076 |
金剛石 | diamond | 14000 |
鋅 | zinc | 4170 |
有機(jī)玻璃 | Organic glass | 2730 |
陶瓷 | ceramic | 5842 |
錫 | tin | 3230 |
水 | water | 1500 |
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